【求助】橢偏儀的工作原理

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橢偏儀這是干什么用的呀？

Yoo-hu

橢偏儀是一種用于測量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的非接觸式、非破壞性的光學(xué)測量設(shè)備。它通過分析偏振光在樣品表面反射或透射后偏振態(tài)的變化，獲得材料的物理和化學(xué)性質(zhì)信息。

從測量原理來看，橢偏儀利用的是光的偏振特性。當(dāng)一束線性偏振光入射到樣品表面并被反射時，由于不同材料的光學(xué)性質(zhì)各異，反射光的偏振態(tài)會發(fā)生改變，形成橢圓偏振光。通過測量這些變化并結(jié)合適當(dāng)?shù)奈锢砟Ｐ停梢跃_計(jì)算出薄膜的厚度、折射率、消光系數(shù)等參數(shù)。

橢偏儀的測量過程通常涉及將非偏振光轉(zhuǎn)化為線性偏振光，再通過特定光學(xué)系統(tǒng)使線性偏振光轉(zhuǎn)變?yōu)闄E圓偏振光，最后通過探測器測量反射光的偏振特性。這一過程需要多個組件協(xié)同工作，包括偏振片、光學(xué)系統(tǒng)、樣品反射裝置、探測器和計(jì)算機(jī)。

橢偏儀具有高精度、高靈敏度的特點(diǎn)，能夠測量薄至1納米的薄膜，且不需要破壞樣品即可進(jìn)行多次測量。這使得它在許多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，如半導(dǎo)體制造、數(shù)據(jù)存儲、光學(xué)鍍膜、平板顯示器以及生物醫(yī)學(xué)研究等。近年來，隨著科技的進(jìn)步，橢偏儀在新興領(lǐng)域如鈣鈦礦太陽能電池的光管理、全自動橢偏分析系統(tǒng)開發(fā)等方面顯示出其獨(dú)特的應(yīng)用價值。

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橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量設(shè)備。

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