熱式氣體質量流量計工作原理

宏巨電子科技

熱式氣體質量流量計（Thermal Mass Flow Meter）主要通過熱交換原理來測量氣體的質量流量。其工作原理基于氣體流動對加熱元件的熱交換效應。當氣體流過流量計時，流量計中的一個加熱元件被加熱至一定溫度，同時另一個溫度傳感器測量加熱元件附近的氣體溫度。

氣體流速越大，帶走的熱量就越多，導致加熱元件溫度下降。通過測量加熱元件的溫度變化，可以推算出氣體流速。氣體的質量流量與氣體流速、氣體的熱物性（如比熱、導熱性）密切相關。因此，熱式氣體質量流量計通常采用氣體類型的補償算法，結合溫度、壓力等因素，將氣體的體積流量轉化為質量流量。

該流量計適用于測量低流速的氣體，具有響應快、精度高、不受氣體壓力變化影響等優點，廣泛應用于工業氣體流量測量、氣體泄漏檢測和過程控制等領域。

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