真空泵的負(fù)壓一般能達(dá)到多少？

精工儀器儀表廠

真空泵的負(fù)壓范圍因類型而異，以下是常見真空泵的負(fù)壓范圍：
旋片式真空泵
旋片式真空泵的負(fù)壓范圍一般在 -100 kPa 至 -80 kPa。
根式真空泵
根式真空泵的負(fù)壓范圍通常在 -95 kPa 至 -75 kPa。
螺桿真空泵
普通螺桿真空泵的極限負(fù)壓可達(dá)到 0.01 Pa，對(duì)應(yīng)的相對(duì)負(fù)壓約為 -0.1013 MPa。一些高端定制的螺桿真空泵可以達(dá)到更高的負(fù)壓。
分子泵和離子泵
分子泵和離子泵屬于高真空泵，能夠達(dá)到極高的負(fù)壓，甚至接近絕對(duì)真空。例如，冷陰極離子泵的最大吸氣壓力可低至 10?? 至 10?11 Pa。
微型真空泵
微型真空泵的負(fù)壓相對(duì)較低，通常在 -20 kPa 至 -40 kPa。
水環(huán)式真空泵
水環(huán)式真空泵的極限負(fù)壓一般為 -0.08 MPa。
逆流冷卻真空泵
逆流冷卻真空泵的負(fù)壓范圍為 -40 kPa 至 -78.4 kPa。
其他
理論上，無(wú)油真空泵的負(fù)壓極限可達(dá)到 10?3 Torr（約 0.133 Pa）。

九月十九日

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