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標題: 臺階儀測試薄膜厚度 [打印本頁]
作者: 時代機械創新    時間: 2024-12-5 13:03
標題: 臺階儀測試薄膜厚度
臺階儀是一種精密的測量儀器，廣泛應用于測量薄膜厚度、表面粗糙度等表面特性。它通過一個精密的觸針或探針在被測表面上進行掃描，根據表面的高低起伏來測量薄膜的厚度。以下是臺階儀測試薄膜厚度的方法和優勢：
臺階儀測試薄膜厚度的原理
臺階儀的核心部件是一個精密的觸針或探針，它被安裝在一個高度可調的支架上。當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面可能存在微小的峰谷，觸針在滑行的同時會根據表面的起伏作上下運動。這些上下運動被轉換為電信號，通過精密的傳感器和數據采集系統記錄下來。

臺階儀測試薄膜厚度的步驟
樣品準備：將薄膜樣品粘貼在樣品臺上，確保薄膜表面平整、無褶皺。
設備校準：使用已知厚度的標準樣品對臺階儀進行校準，確保測量準確性。
測試參數設置：根據薄膜的厚度和表面特性，設置合適的測試參數，如激光束的波長、光斑大小、掃描速度等。
測試與數據采集：將薄膜樣品放置在臺階儀的樣品臺上，進行掃描測量，記錄薄膜表面與基底表面之間的垂直距離。
數據處理：對測量數據進行平滑處理和分析，計算薄膜的平均厚度、最大厚度、最小厚度等參數。

臺階儀測試薄膜厚度的優勢
高精度：臺階儀具有亞埃級分辨率，能夠達到納米級別的測量精度。
高效率：配備有高速數據采集和分析系統，測量穩定、便捷、高效。
多樣化的測量功能：除了測量膜厚，臺階儀還可以測量表面粗糙度、臺階高度等多種表面特性。

作者: 李小狼    時間: 2024-12-5 17:56
這個觀點真的很有實踐意義。
作者: 9549872678@16    時間: 2024-12-5 18:12
樓主的見解很獨到，值得學習。
作者: 唯有一劍    時間: 2025-11-27 16:27
這個方法我記下了，下次試試。
作者: 9549872678@16    時間: 2025-12-4 22:53
這么詳實的內容，看得出來樓主花了很多心思，感謝！



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